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HISOMET测量工具显微镜

发布时间:2012-02-12 11:28:09        

日本UNION HISOMET 测量工具显微镜,测量显微镜

品牌:UNION
型号:HISOMET系列
产地:日本
非接触式深度测量工具显微镜

日本Union DH2高精度非接触深度测量显微镜
采用光学和非接触方法探测焦距的方法,测量不会给样品造成变形或划痕等影响,这些往往是采用物理性接触测量时产生的。基于目标分光方法原理的精密聚焦指示器的应用,以简单地把两个目标标志部分重合起来进行高精度的测量..

XY Z轴测量精度0.1微米或0.5微米可选.


功能:
非接触测量微细的撞击、台阶等。
◎ 通过高精度的光学聚焦点检测和***的聚 焦指示器完成高***的测量
◎ 简单的操作
◎ Z轴测量行程可从几个μm 到10mm
◎ 同时还可以完成测量点的表面观察

观 测 头: 三目
Z轴测量范围: 0.1μm 读数,20mm 行程
Z轴测量精度: 3σ=1μm (40×)
光学镜身: ***的自动聚焦单元
物 镜: 5× - 100×
测量软体: 4种模式
资料处理软体: 显示***大值,***小值,平均值,标准偏差值等

HISOMET系列工具显微镜为一***X、Y、Z轴座标测量显微镜,X、Y工作台行程由100*200mm到大行程500*500mm,放大倍数由5至1000×。为求提高工件在Z轴深度/高度测量时的精度,Z轴对焦采用一专利光学“裂像指示器”,结合精密的Z轴“Cross  Roller  Bearing”导轨,可测范围25  mm,精度高达1μm,配合特殊附件,测量分解度更可达0.5μm或0.1μm.    
技术规格
型号:DH  II
工作台行程:100*200mm/150*300mm/500*500mm
Z轴测量范围:25mm/25mm/25mm
三轴分解度:0.001mm
Z轴读数装置:ID-F内置数显表/外置数据处理系统
反射照明系统:  内置8V-15W钨丝灯/外置冷光源
标准目镜:10X
标准物镜:10X
读数系统
DRO200S简易坐标读数器/QC200多功能数据处理器/QC5000测量软件电脑系统

 
 

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